●使用超纯水设备，通过离子交换树脂在电解质溶液中进行离子交换混合床，可以去除水中的各种阴离子和阳离子，是目前超纯水工艺制备中不可替代的手段。离子交换剂分为阳离子交换剂、阴离子交换剂等。当原水通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子（HCO3-等离子体）与交换柱中阳离子树脂的H+离子和阴离子树脂的OH-离子交换，从而达到脱盐的目的。
阴、阴混合柱的不同组合可以使水质满足更高的要求，生产出符合更高标准的超纯水。离子交换是国内外制水行业广泛采用的一种理想方法，也是最经济有效的化学方法之一。离子交换是利用阴、阴离子交换树脂对离子的选择性和平衡反应原理去除水中电解质离子的技术。它是一种完整成熟的制水工艺，现已得到广大用户的广泛认可。
再生激活原理：设备运行一段时间，树脂失效，此时需要进行再生，恢复其交换能力。注意事项：操作人员应具备纯水设备的基本知识，掌握操作规程，严禁本设备在超压负荷下工作。
电机应定期检查，如果长时间不使用，应定期搅拌，以免树脂发霉。制备工艺采用离子交换树脂的传统水处理方法制备超纯水。基本流程如下：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→阳床→阴床→混床（双床）→纯水箱→纯水泵→后精密过滤器→水点采用反渗透水处理设备和离子交换设备相结合的方式。基本流程为：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→混床（复合床）→纯水箱→纯水泵→后精密过滤器→水点采用反渗透水处理设备和电去离子（EDI）设备相匹配。这是生产超纯水的最新工艺，也是环保经济的。超纯水制备工艺的发展潜力巨大。基本工艺流程如下：原水→砂碳过滤器→精密过滤器→原水箱→反渗透设备→电去离子（EDI）→纯水箱→纯水泵→后精密过滤器→水点●技术特点第一种采用离子交换树脂。其优点是初始投资小，空间小， 但缺点是需要频繁的离子再生，消耗大量的酸碱，对环境有一定的破坏。
第二类采用反渗透作为预处理，再配以离子交换设备，其特点是初始投资次数比离子交换树脂高，但离子设备的再生周期相对较长，酸碱的消耗比单独使用离子树脂要少得多。但对环境仍具有破坏性。第三类采用反渗透作为预处理，再配以电去离子（EDI）装置，是目前生产超纯水最经济环保的工艺。可以连续生产超纯水，不需要酸碱再生，对环境没有破坏性。
缺点是与上述两种方法相比，初始投资过于昂贵。●应用半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路；超纯材料和超纯化学试剂；实验室和试点车间的汽车和家用电器表面抛光；其他高科技精细产品。
