它直接与细菌、病毒相互作用，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质和多糖等大分子聚合物，破坏细菌的代谢产生和繁殖过程，使其直接侵入细胞膜组织，侵入细胞膜并作用于外膜脂蛋白和内部脂多糖，使细胞发生透明扭曲，导致细胞裂解死亡。
并使体内的死亡细菌的遗传基因、寄生菌株、寄生病毒颗粒、噬菌体、支原体和热原（细菌病毒代谢物、内毒素）等溶解变性死亡。（2）活性炭吸附纯水处理工艺活性炭主要通过吸附过滤去除水中的变色、异味、余氯、残留消毒剂等有机杂质。（3）膜微孔过滤（MF）纯水处理工艺膜微孔过滤方法包括三种形式：深度过滤、筛网过滤、表面过滤。
深层过滤是由编织纤维或压缩材料制成的基材，利用惰性吸附或捕获来保留颗粒，如常用的多介质过滤或砂滤；深层过滤是一种更经济的方式，可以去除98%以上的悬浮物，同时保护下游净化单元不堵塞，因此通常用作预处理。表面过滤是多层结构，当溶液通过滤膜时，会留下比滤膜内部孔隙更大的颗粒，主要堆积在滤膜表面，如常用的PP纤维过滤。
表面过滤可以去除99%以上的悬浮物，因此也可以用作预处理或澄清。筛网滤膜基本上是一致的结构，像筛子一样，在表面留下比孔径大的颗粒（这种滤膜的孔径测量非常准确），如超纯水机终端使用的点安全过滤器；筛网过滤微孔过滤一般放置在净化系统中的使用终端，以去除最后的微量树脂片、碳屑、胶体和微生物。
（4）离子交换（IX）纯水处理工艺离子交换法的原理是将水中的无机盐阴离子和阳离子，如钙离子Ca2+、镁离子Mg2+、硫酸盐SO42-、硝酸盐NO3-等与离子交换树脂进行交换，使水中的阴离子和阳离子与树脂中的阴离子和阳离子进行交换，从而使水得到净化。（5）反渗透（RO）纯水处理工艺是利用只能穿透水而不能穿透溶质的反渗透膜的选择性，从含有各种无机物、有机物、微生物的水体中提取纯水的压力驱动工艺。
反渗透膜孔径小于10埃（1埃等于10-10米），具有很强的筛选作用，其脱盐率高达99%，杀菌率大于95%，可去除水中无机盐、糖类、氨基酸、细菌、病毒等杂质。
如果以原水水质和产水水质为基准，RO是经过适当设计后净化自来水最经济有效的方法，也是超纯水系统的最佳预处理方法。（6）超滤（UF）水处理工艺微孔膜是根据其过滤孔的大小来去除颗粒，而超滤（UF）膜就像分子筛，它以大小为基础，让溶液通过极细的孔，以达到分离溶液中不同大小分子的目的。
超滤膜是强、薄、可选择性渗透的膜，一般认为其过滤孔径约为0.01μm，可捕获一定尺寸以上的分子，包括胶体、微生物、热源等较小的分子，如水和离子，可通过膜。
（7）紫外线（UV）、臭氧杀菌超纯水处理工艺紫外灯发出的254nm/185nm紫外线能有效杀灭细菌，降解有机物（8）EDI纯水处理工艺一种新的去离子水处理方法。
EDI装置又称连续电脱盐技术，将离子交换树脂填充并夹在阴/阳交换膜之间，形成EDI单元。这种方法不需要酸和碱来再生树脂，具有良好的环保性。
