它直接与细菌、病毒相互作用，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质和多糖等大分子聚合物，破坏细菌的代谢产生和繁殖过程，使其直接侵入细胞膜组织，侵入细胞膜并作用于外膜脂蛋白和内部脂多糖，使细胞发生透明扭曲，导致细胞裂解死亡。
此外，对死亡细菌中的遗传基因、寄生菌株、寄生病毒颗粒、噬菌体、支原体和热原（细菌病毒代谢物、内毒素）进行溶解、变性和杀灭。活性炭吸附纯水处理工艺活性炭主要通过吸附过滤去除水中的变色、异味、余氯、残留消毒剂等有机杂质。膜微孔过滤（MF）纯水处理工艺膜微孔过滤法包括深度过滤、筛网过滤、表面过滤三种形式。
深层过滤是由编织纤维或压缩材料制成的基材，利用惰性吸附或捕获来保留颗粒，如常用的多介质过滤或砂滤；深层过滤是一种更经济的方式，可以去除98%以上的悬浮物，同时保护下游净化单元不堵塞，因此通常用作预处理。表面过滤是多层结构，当溶液通过滤膜时，会留下比滤膜内部孔隙更大的颗粒，主要堆积在滤膜表面，如常用的PP纤维过滤。
表面过滤可以去除99%以上的悬浮物，因此也可以用作预处理或澄清。筛网滤膜基本上是一致的结构，像筛子一样，在表面留下比孔径大的颗粒（这种滤膜的孔径测量非常准确），如超纯水机终端使用的点安全过滤器；筛网过滤微孔过滤一般放置在净化系统中的使用终端，以去除最后的微量树脂片、碳屑、胶体和微生物。
离子交换（IX）纯水处理工艺离子交换法的原理是将水中的无机盐阴阳离子，如钙离子Ca2+、镁离子Mg2+、硫酸盐SO42-、硝酸盐NO3-等与离子交换树脂进行交换，使水中的阴阳离子与树脂中的阴阳离子进行交换，从而使水得到净化。反渗透（RO）纯水处理工艺是利用反渗透膜只能穿透水而不能穿透溶质的选择性，从含有各种无机、有机和微生物的水体中提取纯水的压力驱动工艺。反渗透膜的孔径小于10埃（1埃等于10-10米），具有很强的屏蔽作用。其脱盐率高达99%，杀菌率大于95%。
它可以去除水中的无机盐、糖、氨基酸、细菌、病毒等杂质，如果以原水水质和产出水水质为基准，RO是设计得当后净化自来水最经济有效的方法，也是超纯水系统的最佳预处理方法。
超滤（UF）膜是一种微孔膜，根据其过滤孔的大小去除颗粒，而超滤（UF）膜就像一个分子筛，以大小为参考，让溶液通过极细的孔，以达到分离溶液中不同大小分子的目的。超滤膜是坚固、薄、选择性渗透的膜，一般认为其过滤孔径约为0.01μm，可以捕获一定大小以上的分子，包括：牙龈、微生物、热源等较小的分子，如水和离子，可以通过过滤膜。
紫外线（UV）和臭氧杀菌超纯水处理工艺利用紫外线灯发出的254nm/185nm紫外线有效杀灭细菌，降解有机物，EDI纯水处理工艺是一种新型的去离子水处理方法。
EDI装置又称连续电脱盐技术，将离子交换树脂填充并夹在阴/阳交换膜之间，形成EDI单元。这种方法不需要酸和碱来再生树脂，具有良好的环保性。
