它直接与细菌、病毒相互作用，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质和多糖等大分子聚合物，破坏细菌的代谢产生和繁殖过程，使细菌的细胞膜组织穿透，侵入细胞膜内的外膜脂蛋白和内部脂多糖，使细胞发生透明畸变，导致细胞裂解死亡，并使死亡细菌中的遗传基因、寄生菌株、寄生病毒颗粒、噬菌体、支原体和热原（细菌病毒代谢物、内毒素）溶解变性。
活性炭吸附纯水处理工艺活性炭主要通过吸附过滤去除水中变色、异味、余氯、残留消毒剂等有机杂质，膜微孔过滤（MF）纯水处理工艺膜微孔过滤法包括深度过滤、筛网过滤、表面过滤三种形式。
深层过滤是由编织纤维或压缩材料制成的基材，利用惰性吸附或捕获来保留颗粒，如常用的多介质过滤或砂滤；深层过滤是一种更经济的方式，可以去除98%以上的悬浮物，同时保护下游净化单元不堵塞，因此通常用作预处理。表面过滤是多层结构，当溶液通过滤膜时，会留下比滤膜内部孔隙更大的颗粒，主要堆积在滤膜表面，如常用的PP纤维过滤。
表面过滤可以去除99%以上的悬浮物，因此也可以用作预处理或澄清。筛网滤膜基本上是一致的结构，就像一个筛子，在表面留下比孔径大的颗粒（这种滤膜的孔径很大），如超纯水机终端使用的点安过滤器；筛网过滤器微孔过滤器一般放置在净化系统的终端，以去除残留的微量树脂片、碳屑、胶体和微生物。离子交换（IX）纯水处理工艺离子交换法的原理是将水中的无机盐阴阳离子，如钙离子Ca2+、镁离子Mg2+、硫酸盐SO42-、硝酸盐NO3-等，与离子交换树脂交换，将水中的阴阳离子与树脂中的阴阳离子交换，使水得到净化。
反渗透（RO）纯水处理工艺是一种利用反渗透膜只能穿透水而不能渗透溶质的选择性，从含有各种无机、有机和微生物物质的水体中提取纯水的压力驱动工艺。反渗透膜孔径小于10埃（1埃等于10-10米），具有很强的筛选作用。其脱盐率高达99%，杀菌率大于95%。它可以去除水中的无机盐、糖、氨基酸、细菌、病毒等杂质。
如果以原水水质和产水水质为基准，RO是经过适当设计后净化自来水的一种经济有效的方法，也是超纯水系统的一种很好的预处理方法。超滤（UF）纯水处理工艺微孔膜是根据其过滤孔的大小来去除颗粒，而超滤（UF）膜就像分子筛，以大小为依据，让溶液通过极细的孔，以达到分离溶液中不同大小分子的目的。
超滤膜是强、薄、可选择性渗透的膜，一般认为其过滤孔径约为0.01μm，可捕获一定尺寸以上的分子，包括胶体、微生物、热源等较小的分子，如水和离子，可通过膜。
紫外线（UV）和臭氧杀菌超纯水处理工艺利用紫外线灯发出的254nm/185nm紫外线有效杀灭细菌，降解有机物，EDI纯水处理工艺是一种新型的去离子水处理方法。
EDI装置又称连续电脱盐技术，将离子交换树脂填充并夹在阴/阳交换膜之间，形成EDI单元。这种方法不需要酸和碱来再生树脂，具有良好的环保性。
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