其工作原理是对水施加一定的压力，使水分子和离子矿物元素通过反渗透膜，溶解在水中的大部分无机盐（包括重金属）、有机物、细菌、病毒等不能通过反渗透膜，使渗透的纯净水和不透水的浓缩水严格分离；反渗透膜上的孔径只有0.0001微米，而病毒的直径一般为0.02-0微米，普通细菌的直径0.4-1微米。使用各种过滤设备去除水源中的杂质，达到纯净水的标准。超纯水设备是在纯水设备的基础上，进一步采用一些高科技手段，如反渗透、EDI、抛光混床等，大大降低了水中离子、颗粒、细菌等有机物的含量。
超纯水设备要求更高，需要在纯水设备的基础上进一步去除水中的微量离子、有机物、细菌等杂质，以达到更高的水质纯度，超纯水设备通常包括超滤、紫外线消毒、电导率监测等工艺，以保证水质的稳定性和可靠性，超纯水设备广泛应用于对水质要求极高的电子、半导体、制药、生物技术等高科技行业。
总的来说，纯水设备和超纯水设备的主要区别在于对水纯度的要求和处理工艺的复杂性，纯水设备适用于一般水质处理，而超纯水设备适用于对水质要求极高的特定区域，在选择水处理设备时，应根据具体的使用需求和场景选择合适的设备。
各设备之间使用的工艺流程不同（1）超纯水设备的工艺流程为：预处理系统→反渗透系统→中间水箱→粗混床→细混床→纯水箱→纯水泵→紫外线灭菌器→抛光混床→精密过滤器→水体（≥18MΩ. CM）（传统工艺）预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→净化水箱→纯水泵→紫外线灭菌器→抛光混床→0.2或0.5μm精密过滤器→水体（≥18MΩ.CM）（新工艺）。
预处理→一次反渗透→加药机（PH调节）→中间水箱→二次反渗透（正电荷反渗透膜）→纯水箱→纯水泵→EDI装置→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→水体（≥17MΩ. CM）（新工艺）预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→水体（≥15MΩ.CM）（新工艺）。
预处理系统→反渗透系统→中间水箱→纯水泵→粗混床→细混床→紫外线灭菌器→精密过滤器→水体（≥15MΩ. CM）（传统工艺）。
