超纯水设备主要由水箱系统、水泵系统、机械式滤波器系统、加药系统、阴阳床/反渗透系统、EDI系统、除气系统、消毒系统、抛光混床系统、终端过滤系统、循环管路系统及相关仪表组成2水箱系统水箱系统是水处理设备的基础部分，主要起到储存水源、稳定水压的作用。
根据设置位置的不同，可分为原水箱、中转水箱、终端水箱等。根据材料的不同，还可分为塑料水箱、不锈钢水箱、玻璃纤维水箱等。塑料水箱纯水设备中常见的塑料水箱材料有PE、PP、PTFE等。PE水箱最大的优点是价格便宜，但一般用于储存腐蚀性较小的液体。一般用作原水箱、中转水箱和低终端水箱的主要工艺。
PP水箱具有较强的耐酸碱性和耐腐蚀性，如pH调节装置的加料箱可以采用PP材料，PTFE水箱是含氟水箱的代表成员，超纯水设备使用PTFE或PVDF水箱管最重要的是其低沉淀特性。
聚四氟乙烯材料也常用作不锈钢或碳钢内衬。不锈钢方形、PE、无菌水箱不锈钢水箱不锈钢水箱根据材质可分为3031316L、316LN等。，根据处理工艺可分为普通、卫生级、无菌等。，根据形状可分为方形、锥形（锥底）、圆形等。最常见的组合有普通304不锈钢方形水箱、卫生级不锈钢水箱、304/316不锈钢无菌水箱等。
