对于生产阶段，原料的纯度更高，其他化学成分和气体纯度也遵循严格的生产标准。此外，超纯水在生产企业中起着重要作用。超纯水制造的工艺流程（1）预处理部分预处理主要是指对原水进行有效处理，提取满足RO部分对给水的要求。预处理主要用于去除原水中的胶体和悬浮物，使SDI≤5；同时去除游离氯和其他氧化性物质、一些有机物等，从而降低LSI，防止各种碳酸盐结垢。
在超纯水制造工艺中，常用的传统方法是使用多介质过滤器+活性炭过滤器作为超纯水系统的预处理部分。半导体工厂主要使用粗过滤器+超滤装置作为超纯水系统的预处理部分。具体原因如下：①由于传统处理方法的SDI值不能得到有效控制，一般情况下，SDI5不利于后期系统运行，而超滤装置的SDI相对稳定，可以有效保证后期系统的运行；②与传统预处理相比，超滤装置的占地面积相对较小，可以有效节省建设成本和成本；③与传统处理方法相比，超滤装置的更换更加方便；④随着超滤技术的不断深入和发展，超滤技术得到了进一步的提高，并且能够稳定安全地运行，超滤膜的价格明显降低，维护成本与传统预处理类似。（2）反渗透部分主要在反渗透部分采用两级反渗透工艺，可以有效保证后续工艺的稳定性和安全性。
两级反渗透不仅可以去除原水中99%的悬浮物和胶体，还可以去除98%以上的溶解盐、微生物、部分CO2和TOC。两级反渗透工艺主要将两级反渗透进行拆分，可以有效保证系统运行的连续性。即使更换或清洗反渗透膜，也不会造成整个厂房停机，可以保证连续用水的关键部位。在一级反渗透前增加SBS和MDC装置，可以有效保证一级反渗透系统的安全运行；在一级和二级反渗透之间增加碱装置，可以有效提高原水中CO2的去除。（3）电去离子部分在反渗透出水中进行深度脱盐时，电阻率能量一般大于15MΩcm，近年来最常用的两种电去离子深度脱盐装置有EDI、CEDI等模块。
（4）抛光混床部分由于超纯水对水质的要求很高，在纯水箱后面的输送管道上增加了抛光混床，可以有效保证超纯水系统在制水过程中相对稳定。在实际应用中，一般采用两级抛光混床。（5）电去离子部分前面一般设置紫外线杀菌剂和TOC去除剂，紫外线波长为254nm，可以有效杀灭水中的微生物和细菌，避免细菌污染。TOC去除剂主要设置在抛光混床之前，紫外线波长为185nm催化。通过有效氧化降解水中的有机物，保证制水的TOC 100ppb。
超纯水系统施工在超纯水系统施工中，水站部分的施工难度较大，分为三个步骤，即设备的放置与安装、普通管架的制作与安装、管道的安装。设备的放置必须制定完善的吊装方案，特别是对于超大、超重的设备，必须精心施工。管架的施工应特别注意以下两个方面：第一，必须保证土建结构与管架的连接牢固。如果条件允许，可以使用预埋铁板的措施。如果因为其他原因不能预埋，则需要使用化学铆接螺栓固定，不能使用一般简单的膨胀螺栓。
特别是不能使用简单的膨胀螺栓和铁板来固定楼板。第二，在超纯水系统的施工中，必须使共享管架的整个截面保持水平状态，以避免管架与管道接触部件之间的应力不均匀导致管道损坏。除了热交换器中使用的氮气和CDA以及冷热水或蒸汽管道外，其他应用内管道的施工可以根据系统进行。其他应用内管道的施工主要是设备周围的管道施工和管架管道施工。
两部分施工在施工初期可同时进行，管架与设备本体直管段配管完成后，从设备周围的管道开始连接配置到管架管道，最后完成与管架管道连接的封闭管道系统。
超纯水系统中的管道施工与其他电力管道施工有很大的区别，其中除了要保证管道的密封性外，还要保证管道的卫生洁净度。超纯水系统管道施工中的CPVC和PVDF是比较特殊的管道施工工艺，在金属离子、有机碳的沉淀、无细小颗粒、无活菌繁殖等方面，CPVC和PVDF能有效满足超纯水系统的要求。管道的加工包装和配件的加工包装都是在超净环境下实施的，因此这两种管道的施工都有一定的特殊性。超纯水系统中的CPVC主要采用HP-PVC、CLEAN-PVC等胶粘，需要注意的是不能混用。
其中，切口处的毛刺必须清理干净，管道专用倒角必须内外倒角，以防止划伤，减少因人为操作不当导致管道粘接部分泄漏，同时管道粘接表面必须涂覆均匀。涂胶前，应先用白布去除表面存在的灰尘，然后用无尘布蘸丙酮清洗。此外，更重要的一点是CPVC管道的清洁施工，这是与其他管理施工最大的不同。由于CPVC管道的粘接施工严格，清洁时应首先使用现场连接，但由于施工现场特殊，管道往往需要现场粘接安装。粘结施工时禁止地面安装，应在处理平台上操作，但需要注意的是，施工现场应保持相对清洁，施工时应戴一次性手套，施工时禁止徒手接触管道，插入管道时应使用紧固器，确保插线深度符合标准，管道插入后，需要维护一两分钟。
PVDF管道主要采用焊接的方式进行连接，在施工过程中，应严格注意周围环境的清洁。焊接时应在洁净的小房间内进行，不应在一般房间内进行施工。进入洁净的小房间时，应适用专用鞋，并将喷嘴、附件等密封起来，不要外露。管件的包装材料在施工前必须是可打开的。焊接时，应戴一次性清洁PVC手套。使用前，应使用异丙醇、酒精等，用无尘干净布清洁管端。辅助焊接人员应戴上干净的棉手套，焊接后仔细检查每一个焊缝，检查确认后对焊缝进行密封，运到现场时连接法兰。法兰之间的密封材料主要是聚四氟乙烯。
在管道连接中，要现场测量尺寸，制定加工安装图纸，然后进行管道焊接处理。结语综上所述，在超纯水系统的施工中，除了要保证管道的密封性外，更要注意管道的施工洁净度。因此，在施工过程中，要加强管理，提高施工人员的清洁意识，严格按照清洁施工的要求进行管道施工，这样才能保证施工质量，使水质的处理达到预期的效果，进而满足业主的需求。
